本方法涉及通過表面精制來提高SiC加熱芯棒質量的方法。本方法的目的是提供一種精制SiC加熱芯棒的壽命。本方法的特征在于，在基本上穩(wěn)定的溫度下，在一段長的時間內，通過無機酸或無機混合酸進行SiC加熱芯棒的酸性處理；接著在升溫下用鹽酸處理SiC加熱芯棒，隨后用水洗滌，并干燥；使用由主要組分是Si(OC2H5)4的硅氧烷化合物和氧化保護劑組成的溶膠溶液多次浸漬SiC加熱芯棒，并干燥，直至不再吸收溶膠溶液，其中硅氧烷化合物由Si(OC2H5)4-H2O-C2H5OH-HCL體系組成，氧化保護劑由通過Si(OC2H5)4水解制備和SiO2以及Al2O3和/或ZrO2組成，在溶膠溶液轉化為無定形凝膠狀態(tài)之后，在高于1000℃的溫度下，短時地熱處理SiC加熱芯棒。